用途

本化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳?xì)錃怏w（如C3H8等）為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積，如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產(chǎn)。

特點(diǎn)

●采用多功能高溫設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
●使用溫度高達(dá)2600，并可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定可靠運(yùn)行。
●采用熱電偶和紅外測(cè)溫儀組合的測(cè)溫自動(dòng)轉(zhuǎn)換系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。
●采用IGBT為主功率器件的感應(yīng)加熱變頻控制系統(tǒng)，使得設(shè)備節(jié)能省電，諧波分量小，對(duì)外部設(shè)備無(wú)干擾。
●進(jìn)出氣體的精確流量顯示和控制，保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
●采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng);
●采用多通道沉積氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好;
●特制的過(guò)濾系統(tǒng)，對(duì)炭沉積過(guò)程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理;

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